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深紫外硅片缺陷检测镜头

2019-12-23 分享

爱彩票  检测设备在半导体制造行业处于非常重要的地位,需求数量也越来越多,尤其是高端检测设备是半导体行业的关键技术设备之一。光电所依托国家重大专项任务,发展了深紫外方向,为半导体检测设备企业研发了硅片缺陷检测镜头。该镜头成功应用于非图形缺陷检测设备,最高可实现60nm的检测灵敏度。在半导体制造行业内具有广阔的应用前景。

 

 

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